控制活體動(dòng)物動(dòng)式暴露倉靜電泄放和中和步驟
- 發(fā)布人：
- 發(fā)布日期：2018-03-12 10:17:20
這是控制活體動(dòng)物動(dòng)式暴露倉的靜電三步曲的第二步，在微電子出產(chǎn)的活體動(dòng)物動(dòng)式暴露倉中最一般的辦法是接地，選用導(dǎo)電性或耗散性資料泄放靜電荷，以及離子化消電器中和靜電荷。
(1)接地
活體動(dòng)物動(dòng)式暴露倉應(yīng)設(shè)一個(gè)獨(dú)立靜電接地體系(包含地上接地金屬網(wǎng)支體系、出產(chǎn)線工作站接地支體系)，以便室內(nèi)所有設(shè)備金屬外殼、移動(dòng)設(shè)備的金屬支架、防靜電器件等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則經(jīng)過手腕帶接地，以及經(jīng)過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地上向大地泄放。地上、墻面、頂棚、間隔等是硬接地，設(shè)備外殼、移動(dòng)設(shè)備(車、椅、貨架等)、工作臺(tái)等則屬軟接地。
(2)離子化肖電器
活體動(dòng)物動(dòng)式暴露倉中出產(chǎn)拼裝的元器件、PCB，出產(chǎn)線、工作站上總是不免存在一些不能接地的絕緣導(dǎo)體和絕緣介質(zhì)資料(例如大多數(shù)一般塑料)。在某些環(huán)境下，離子化消電器常用來部分消散這些物體上的靜電荷，而更常常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質(zhì)上和孤立導(dǎo)體上的所帶靜電電荷。
(3)導(dǎo)靜電和靜電耗散資料
導(dǎo)靜電資料和靜電耗散資料因?yàn)槠渚哂袑?dǎo)靜電性，也是很好的靜電荷泄放資料，并且比金屬導(dǎo)體泄放更具有安全性，一般被選用做地板、墻面、工作臺(tái)、周轉(zhuǎn)容器、鑷子、刷子等防靜電器件。
